电导率的计算公式如下：

X = FΣ Ci Zi Ui

X 是电导率, F 是法拉第常数, Ci 是某种离子浓度， Zi 是离子的电荷数 ，Ui 指离子的迁移能力。

理论上，完全不含离子的超纯水在 25℃ 时电导率为 0.055 μS/cm 。 电阻率是电导率的倒数，为 18.2 MΩ•cm。

当超纯水暴露在外界环境中时，会被外界环境污染。实验室里含有大量空气，空气溶于水变成离子存在于超纯水中。

另外，测量电导率所用到的仪器（烧杯，电阻率仪/探针）也会带入离子污染物。

正如电导率的计算公式中所示，任何离子的增加都会影响电导率值，因为电导率与离子的种类和其所带电荷成正比。所以不能在离线情况下精确测量超纯水的电阻率/电导率，必须用在线的方式进行检测。